直江津精密加工(株)は高度な精密加工技術により、高純度合成石英、及び酸化物単結晶の切断から表面研磨加工を行い、超高平坦で超クリーンな製品を生み出しています。
IC･LCDフォトマスク用基板
信越化学で製造される高透過性、低膨張性の合成石英ブロックを切断、研削、研磨、洗浄し高平坦度、高平行度、高清浄度のフラット基板を製造しています。これらの製品は世界一のシェアを誇っています。
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用途
- 半導体製造用フォトマスク基板、FPD(フラットパネルディスプレイ)製造用フォトマスク基板として、半導体の製造、液晶テレビ、有機ELテレビ、スマートフォン、タブレット端末などを製造するために必要な合成石英製基板です。
合成石英ガラス製ウェーハ基板
信越化学製合成石英ガラスの高純度、化学耐性、高耐熱性、低膨張性、光透過性、非蛍光性、低誘電損失、等々の極めて優れた魅力的な特性と、直江津精密加工の優れた表面加工生産技術、超精密研磨技術により、様々な用途展開への可能性が秘められており、様々な分野において、幅広いアプリケーションの開発が進んでいます。
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用途
- プロジェクター用の高温Poly-Si TFT-LCD要ウェーハ
- マイクロレンズ用ウェーハ
- マイクロLED用スタンプ基板
- 高周波デバイス用ウェーハ
- DNAチップ用基板
酸化物単結晶基板(LT／リチウム・タンタレート)
高温炉の中で生まれるタンタル酸リチウムの単結晶(LT)ブロック、及びニオブ酸リチウムの単結晶(LN)を1mm以下の厚さにスライス、表面を研磨して超高平坦度でクリーンなLTウェーハ、LNウェーハを生産しています。
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用途
- 電波をふるいにかけ特定の周波数のみをピックアップするSAWデバイスに用いられ、スマートフォン、液晶テレビ、無線LANなどに使われています。
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